grelni mocvd reaktor z indukcijo
Reaktorji z indukcijskim ogrevanjem Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) so tehnologija, katere cilj je izboljšati učinkovitost ogrevanja in zmanjšati škodljivo magnetno sklopitev z vstopom plina. Običajni reaktorji MOCVD z indukcijskim ogrevanjem imajo pogosto indukcijsko tuljavo zunaj komore, kar lahko povzroči manj učinkovito ogrevanje in morebitne magnetne motnje v sistemu za dovajanje plina. Nedavni … Preberi več